VOC檢測方法通常分為兩種：一種是快速出數據的PID檢測法，一種是氣相色譜法。
目前的主要檢測方法是氣相色譜法、質譜法和光譜法，環保部公布的行業標準中采用的是氣質聯用法。其中環境空氣VOC標準中測定的是35種目標有機化合物，固定污染源廢氣VOC標準中測定的是24種目標有機化合物。
據悉，快速出數據的PID檢測法通常采用的紫外燈是充有氫氣或氫氣等氣體的輝光放電管。輻射能量為10.2eV的紫外燈充有0.1-1托的氫氣，在直流高壓的電場作用下電極間產生輝光放電，形成長約10厘米，直徑1厘米的等離子體柱。紫外燈用玻璃外殼，窗口處由透射晶片膠封。電極可用鉑、銘、鎢等材料。VOC有機氣體檢測儀電極的形式和幾何尺寸、燈內充氣壓力都會影響紫外光譜上能量的分布狀況。紫外燈輻射的紫外光波長和能量取決于燈內所充的氣體。通常使用能量為9.5eV，10.2eV，11.7eV三種紫外燈。采用這幾種燈時，VOC有機氣體檢測儀分析物質的范圍可從物質分子的電離能數據來判斷。凡電離能小于光源能量的物質均能被電離和分析，電離能大于光源能量的物質則不能。實驗表明樣品分子的電離能若比光源能量大0.3eV以上，就只有很小的PID響應。如果要得到足夠的響應，樣品電離能至少應比光源能量低0.3eV。
10.2eV光源能電離的樣品物質范圍較寬，(包括所有的芳香烴、酮類、雜環碳氫化物、胺類)，絕大多數不飽和化合物以及一些無機化合物(如、、氨、碘、濱等)，因此用得最多。VOC有機氣體檢測儀它所發射的氫分子光譜帶中，以波長為1216入的lya線最集中，其他波長的雜散光很少，因而這種光源強度很高，比9.5eV，11.7eV光源強4-10倍，靈敏度也。
9.5eV VOC有機氣體檢測儀光源輻射能量較低，能電離的物質范圍相應要小一些，因而也有一個好處，即有較多的物質不會被電離，故可選用作樣品的溶劑組份較多。
11.7eV光源輻射能量較高，能電離的物質范圍很寬，包括所有的鏈烷烴(除甲烷外)類、鹵化碳類(如和氯仿等)、有機酸類(如、乳酸)及等，適宜分析電離能在10.2^-11.7eV之間的各種物質。缺點是可選作樣品溶劑的物質很少。9.5eV和11.7eV光源強度比10.2eV光源低，只有靠適當增高光源供電電壓和提高靜電放大器靈敏度作些彌補。
